Optik Dizayn yarımkeçirici sahədə geniş tətbiqetmələrə malikdir. Bir fotolitoqrafiya maşında, optik sistem işıq mənbəyi tərəfindən yayılan işıq şüasının diqqətini çəkməyə və dövrə naxışını ifşa etmək üçün silikon vafleri üzərində proyeksiya etmək üçün məsuliyyət daşıyır. Buna görə, fotoliitoqrafiya sistemindəki optik komponentlərin dizaynı və optimallaşdırılması, fotolitoqrafiya maşınının işini yaxşılaşdırmağın vacib bir yoludur. Aşağıdakılar fotolitoqrafiya maşınlarında istifadə olunan bir optik komponentlərdən bəziləri var:
Proyeksiya məqsədi
01 Proyeksiya məqsədi, ümumiyyətlə konveks linzaları, konkav linzaları və prizmalar daxil olmaqla bir sıra linzalardan ibarət bir litoqrafiya maşınının əsas optik komponentidir.
02 Onun funksiyası maskada dövrə naxışını kiçiltmək və fotorezistlə örtülmüş vafdanın üstünə yönəltməkdir.
03 Proyeksiya məqsədinin dəqiqliyi və performansı Litoqrafiya maşınının qətnaməsinə və görüntüləmə keyfiyyətinə həlledici təsir göstərir
Güzgü
01 Güzgülərİşıq istiqamətini dəyişdirmək və onu düzgün yerə yönləndirmək üçün istifadə olunur.
02 EUv Litoqrafiya maşınlarında, güzgülər xüsusilə vacibdir, çünki EUv işığı materiallar tərəfindən asanlıqla əmilir, buna görə yüksək yansıtıcı olan güzgülərdən istifadə edilməlidir.
03 Səthi dəqiqliyi və reflektorun sabitliyi də litoqrafiya maşınının performansına da böyük təsir göstərir.
Filtrlər
01 filtr, fotolitoqrafiya prosesinin dəqiqliyini və keyfiyyətini artırmaq, istenmeyen dalğa uzunluqlarını aradan qaldırmaq üçün istifadə olunur.
02 Müvafiq filtri seçərək, yalnız müəyyən bir dalğa uzunluğunun litoqrafiya maşınına girdiyini, bununla da litoqrafiya prosesinin düzgünlüyünü və sabitliyini yaxşılaşdıranın işığının olması təmin edilə bilər.
Prizmalar və digər komponentlər
Bundan əlavə, litoqrafiya maşını, xüsusi litoqrafiya tələblərinə cavab vermək üçün prizmalar, polarizatorlar və s. Kimi digər köməkçi optik komponentlərdən də istifadə edə bilər. Bu optik komponentlərin seçimi, dizaynı və istehsalı litoqrafiya maşınının yüksək dəqiqliyini və səmərəliliyini təmin etmək üçün müvafiq texniki standartlara və tələblərə ciddi əməl etməlidir.
Xülasə, litoqrafiya maşınları sahəsində optik komponentlərin tətbiqi, litoqrafiya maşınlarının performansını və istehsal səmərəliliyini artırmağı və bununla da mikroelektronik istehsal sənayesinin inkişafını dəstəkləməyi hədəfləyir. Litoqrafiya texnologiyasının davamlı inkişafı, optik komponentlərin optimallaşdırılması və yenilikləri də sonrakı nəsil fişlərin istehsalı üçün daha çox potensiala təmin edəcəkdir.
Daha çox fikir və ekspert tövsiyəsi üçün veb saytımıza daxil olunhttps://www.jiujonoptics.com/Məhsullarımız və həllərimiz haqqında daha çox məlumat əldə etmək.
Saat: Yanvar-02-2025
