Optik dizayn yarımkeçiricilər sahəsində geniş tətbiq sahəsinə malikdir. Fotolitoqrafiya maşınında optik sistem işıq mənbəyi tərəfindən yayılan işıq şüasının fokuslanmasına və dövrə naxışını ifşa etmək üçün onu silikon vafli üzərinə proyeksiya etməsinə cavabdehdir. Buna görə də, fotolitoqrafiya sistemində optik komponentlərin dizaynı və optimallaşdırılması fotolitoqrafiya maşınının işini yaxşılaşdırmaq üçün vacib bir yoldur. Fotolitoqrafiya maşınlarında istifadə olunan bəzi optik komponentlər aşağıdakılardır:
Proyeksiya məqsədi
01 Proyeksiya obyektivi litoqrafiya maşınının əsas optik komponentidir və adətən qabarıq linzalar, konkav linzalar və prizmalar daxil olmaqla bir sıra linzalardan ibarətdir.
02 Onun funksiyası maskadakı dövrə naxışını daraltmaq və onu fotorezistlə örtülmüş vafli üzərində fokuslaşdırmaqdır.
03 Proyeksiya məqsədinin dəqiqliyi və performansı litoqrafiya maşınının həlli və təsvir keyfiyyətinə həlledici təsir göstərir.
Güzgü
01 Güzgülərişığın istiqamətini dəyişdirmək və onu düzgün yerə yönəltmək üçün istifadə olunur.
02 EUV litoqrafiya maşınlarında güzgülər xüsusilə vacibdir, çünki EUV işığı materiallar tərəfindən asanlıqla udulur, ona görə də yüksək əks etdirən güzgülərdən istifadə edilməlidir.
03 Reflektorun səthinin dəqiqliyi və sabitliyi də litoqrafiya maşınının işinə böyük təsir göstərir.
Filtrlər
01 Filtrlər fotolitoqrafiya prosesinin dəqiqliyini və keyfiyyətini yüksəldən işığın arzuolunmaz dalğa uzunluqlarını aradan qaldırmaq üçün istifadə olunur.
02 Müvafiq filtri seçməklə litoqrafiya maşınına yalnız müəyyən dalğa uzunluğunun işığının daxil olmasını təmin etmək olar və bununla da litoqrafiya prosesinin dəqiqliyini və sabitliyini yaxşılaşdırmaq olar.
Prizmalar və digər komponentlər
Bundan əlavə, litoqrafiya maşını xüsusi litoqrafiya tələblərinə cavab vermək üçün prizmalar, polarizatorlar və s. kimi digər köməkçi optik komponentlərdən də istifadə edə bilər. Bu optik komponentlərin seçilməsi, dizaynı və istehsalı litoqrafiya maşınının yüksək dəqiqliyini və səmərəliliyini təmin etmək üçün müvafiq texniki standartlara və tələblərə ciddi şəkildə riayət etməlidir.
Xülasə, litoqrafiya maşınları sahəsində optik komponentlərin tətbiqi litoqrafiya maşınlarının performansını və istehsal səmərəliliyini artırmaq məqsədi daşıyır və bununla da mikroelektronika istehsal sənayesinin inkişafına dəstək verir. Litoqrafiya texnologiyasının davamlı inkişafı ilə optik komponentlərin optimallaşdırılması və innovasiyası da növbəti nəsil çiplərin istehsalı üçün daha böyük potensial təmin edəcəkdir.
Daha çox məlumat və ekspert məsləhəti üçün vebsaytımıza daxil olunhttps://www.jiujonoptics.com/məhsullarımız və həllərimiz haqqında daha çox öyrənmək üçün.
Göndərmə vaxtı: 02-02-2025
